低压汞灯不需要转化为可见光,253.7nm的波长就能起到很好的杀菌作用,这是因为细胞对光波的吸收谱线有一个规律,在250~270nm的紫外线有比较大的吸收,被吸收的紫外线实际上作用于细胞遗传物质即DNA,它起到一种光化作用,紫外光子的能量被DNA中的碱基对吸收,引起遗传物质发生变异,使细菌当即死亡或不能繁殖后代,达到杀菌的目的。低压汞灯消毒杀菌用途很广,医院、学校、托儿所、电影院、公交车、办公室、家庭等,它能净化空气,消除霉味,此外还能产生一定量的负氧离子,经紫外线消毒的房间,空气特别清新。在公共场合,经紫外线消毒,可避免一些病菌经空气传播或经物体表面传播。长寿命的紫外线杀菌灯在水消毒、环保工程方面的应用意义重大,水消毒设备如纯水系统,一般在24小时都运转,紫外线杀菌灯的寿命和可靠性都要求高,如果灯管寿命短,更换灯管成本高,而且很不方便。高压汞灯能量无限,金属卤素灯照亮你的工业王国。紫外线灯代理商
ORC制作所株式会社的品质管理实施方法1.品质管理①ISO-9001的认证・QC工程表、依作业标准书的标准化・认定工程、依作业审定的教育训练②外注部件的品质:・实施定期的品质会议・确保外注部件的安定筹措③产品品质:・采用弊社独自的检查方式・高亮度照明设备・X线检查装置・弊社独自的点灯试验方法・产品的抽样检查
为了防范于未然,实施全数点灯试验。
通过本公司的精密的灯制造工程,灯的初期照度的偏差非常小,很受客户的好评。 365nm紫外线灯UV-35Hi线步进式光刻机NSR-2005i10用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2001A-1。
弊社が作っている超高圧UVランプは、主に半導体や液晶、プリント基板などのリソグラフィ(回路パターン焼付け)用光源として、各種の露光装置に搭載されています。用途として半導体回路形成用光源、液晶パターン形成用光源、カラーフィルターパターン形成用光源、プリント基板回路形成用光源、MEMSパターン形成用光源、蛍光顕微鏡用光源、紫外線硬化用光源、その他新規露光用途など数多くに使われています。製品の型式について営業担当者までお問い合わせてください。
曝光系统重要部件之一是紫外光源。常见光源分为:可见光:g线:436nm紫外光(UV),i线:365nm深紫外光(DUV),KrF 准分子激光:248 nm, ArF 准分子激光:193 nm极紫外光(EUV),10 ~ 15 nm对光源系统的要求a.有适当的波长。波长越短,可曝光的特征尺寸就越小;[波长越短,就表示光刻的刀锋越锋利,刻蚀对于精度控制要求越高。]b.有足够的能量。能量越大,曝光时间就越短;c.曝光能量必须均匀地分布在曝光区。[一般采用光的均匀度或者叫不均匀度、光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布]常用的紫外光光源是高压弧光灯(高压汞灯),高压汞灯有许多尖锐的光谱线,经过滤光后使用其中的g 线(436 nm)或i 线(365 nm)。对于波长更短的深紫外光光源,可以使用准分子激光。例如KrF 准分子激光(248 nm)、ArF 准分子激光(193 nm)和F2准分子激光(157 nm)等。曝光系统的功能主要有:平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。i线步进式光刻机NSR-SF140,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯,功率7.5KW,型号:NLi-7500AL2D。
制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺,这也是国产光刻机望尘莫及的技术难点之一,许多美国德国品牌光刻机具有特殊的机械工艺设计。例如Mycro N&Q光刻机采用的全气动轴承设计专利技术,有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场,许多光刻机,采用了LED照明。对准系统共有两套,具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对(光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用)。CCD对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。工件台顾名思义就是放工件的平台,光刻工艺主要的工件就是掩模和基片。我们的紫外线灯符合国际标准,通过了CE、RoHS等认证,保证产品质量和安全性.AHD-5002PH2
我们的紫外线灯可在恶劣环境下工作,如高温、高湿、腐蚀等,具有良好的耐久性和稳定性.紫外线灯代理商
ORC制作所生产超高压汞灯,英文:super high pressure mercury lamp,点灯时,汞蒸气压力为100~10000KPa,主要发射波长在365nm,395nm,405nm,436nm,累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2~8mm,功率1,000~350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750~3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。紫外线灯代理商